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Nikon NSR-2205i11D

NIKON步进式光刻机(Stepper)
光源类型:高压汞灯(i-line,365nm)
分辨率:≤350nm
主要用途:半导体封装、成熟制程、MEMS传感器、功率器件、CMOS图像传感器(CIS)、LED和光电器件制造
适用晶圆:200/150mm

技术支持

支持售后维护保养,故障解决

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