Nikon NSR-2205EX12B
NIKON步进式光刻机(Stepper)
光源:KrF
分辨率:≤110nm
主要用途:成熟制程、MEMS、功率器件
适用晶圆:200/300mm
技术支持
支持售后维护保养,故障解决
更多服务
拆移机,产线升级,其他定制化升级
NIKON步进式光刻机(Stepper)
光源:KrF
分辨率:≤110nm
主要用途:成熟制程、MEMS、功率器件
适用晶圆:200/300mm
技术支持
支持售后维护保养,故障解决
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